序 号	项目	单向流（层流）		乱流洁净室
		法净度高于100级	100级	洁净度100级及低于1000级
1	室内送风量，系统总新风量（必要时系统总送风量），有排风时的室内排风量	检测
2	静压差	检测
3	截面平均风速	检测		不测
4	截面风速不均匀度	检测	必要时测	不测
5	洁净度级别	检测
6	浮游菌和沉降菌	必要时测
7	室内温度和相对湿度	检测
8	室温（或相对湿度）波动范围和区域温差	必要时测
9	室内噪声级	检测
10	室内倍频程声压级	必要时测
11	室内照度和照度均匀度	检测
12	室内微振	必要时测
13	表面导静电性能	必要时测
14	室内气流流型	不测		必要时测
15	流线平行性	检测	必要时测	不测
16	自净时间	不测	必要时测	必要时测

备注：1～3项必须按表中顺序，其它各项顺序可以稍作变动，14～16项宜放在最后。

洁净室等级评定标准
　　

      洁净室检漏按由受检过滤器下风侧测到的漏泄浓度换算成的透过率，对于高效过滤器，应不大于过滤器出厂合格透过率的2倍，对于超高效过滤器，应不大于出厂合格透过率的3倍。

      洁净室车间送风量和风速的检测应符合下列规定：

　　一、乱流洁净室检测结果应符合以下规定：

　　1、系统的实测风量应大于各自的设计风量，但不应超过20%；

　　2、总实测新风量和设计新风量之差，不应超过设计新风量的±10%；

　　3、室内各风口的风量与各自设计风量之差均不应超过设计风量的±15%。

　　二、单向流（层流）洁净室检测结果应符合以下规定：

　　1、实测室内平均风速应大于设计风速，但不应超过20%；

　　2、总实测新风量和设计新风量之差，不应超过设计新风量的±10%。

       洁净室车间风速不均匀度检测，并按下式计算，结果应不大于0.25。