洁净室工程是指在一定空间范围内,将空气中的微粒子、有害空气、细菌等污染物排除,并将室内温度、洁净度、压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内的工程学科。洁净室所特别设计的房间,不论外在空气条件如何变化,室内均具有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能。
洁净室洁净度参照表:
洁净度等级参照表 | |||||||
空气洁净度等级 |
大于或等于表中粒径的最大浓度限值(pc/m3) | ||||||
ISO标准 |
中国标准 |
0.1um |
0.2um |
0.3um |
0.5um |
1um |
5um |
1级 |
|
10 |
2 |
|
|
|
|
2级 |
(一级) |
10 |
24 |
10 |
4 |
|
|
3级 |
(五级) |
1000 |
237 |
102 |
35 |
8 |
|
4级 |
(十级) |
10000 |
2370 |
1020 |
352 |
83 |
|
5级 |
(百级) |
100000 |
23700 |
10200 |
3520 |
832 |
29 |
6级 |
(千级) |
1000000 |
237000 |
102000 |
35200 |
8320 |
293 |
7级 |
(万级) |
|
|
|
352000 |
83200 |
2930 |
8级 |
(十万级) |
|
|
|
3520000 |
832000 |
29300 |
9级 |
(三十万级) |
|
|
|
35200000 |
8320000 |
293000 |
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