洁净室的构成是一项比较复杂的工程,特别是洁净等级较高的洁净室车间,例如百级洁净室,就相对于万级、十万级洁净室工程要复杂许多。
百级洁净室的构成:
(1) 洁净室系采FFU (Fan Filter Unit) 系统,配合生产线各段功能及洁净度需求装设适当数量之FFU,Class 100 区域由高架地板回风、Class 1K 及Class 10K 区域由回风柱回风。天花板之隔间装设冷却盘管,以调节室内送风温度。
(2) 洁净室隔间采用防火一小时库板。
(3) 天花板采用重载型T-GRID 系统,T-GRID 框组尺寸为600mm x1200mm,未装设FFU 及灯具之空位,须放置盲板。 T-GRID 之十字接头,须设计可装设消防撒水头及火警感知器之预
留孔及孔帽。
(4) Class 100 区域设高架地板,采用700kg 型之铝板,面贴塑胶地砖之平板及有冲孔之回风板。
(5) 洁净室之室内相对湿度系受外气空调箱控制,外气引入后,以空气过滤器过滤外气,以冷却盘管除湿或加湿器加湿至设计之室内露点温度,以热水盘管加热调温,并经HEPA Filter 过滤后,再送至洁净室回风层,以补充洁净室之排气及维持正压之空气。

资料来源:广州嘉凡净化科技有限公司
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