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FFU在洁净室中应用的经典案例

        如上图所示,是某大型电子企业已经投入使用的典型洁净室案例,典型FFU控制的洁净系统,由静压箱、FFU过滤单元、专用灯具( 包括模块化灯具和泪珠灯具)、盲板、专用龙骨
系统(Ceiling Grid)、高架地板、回风通道、冷却干表冷盘管、新风系统等等组成。本工程案例不是说教案例,是一个现实中已经在使用的洁净室工程案例!

        这种FFU系统在国外广泛应用,国内的洁净室工程也开始普遍。嘉凡认为FFU系统可以灵活运用,如上图是本公司在某半导体公司设计施工的洁净室工程实例。

        该设计的原则是在保证工艺要求洁净度的前提下,降低造价和运行成本。与典型的FFU系统相比,该设计主要有以下改变。

       (1)设备区和操作区分开。设备本身对环境要求并不高,一般在十万级以上,要求高的设备核心部分是全封闭的。而设备体积庞大,积尘面较多,对洁净室的洁净度和气流组织有影响。人员操作、产品中转区洁净度要求高,与设备区分开较合理。设计要求工艺设备布局时,设备和操作区按条形间隔分布,使设备和操作相邻,便于设备开口与操作区相连。这样,即保证了操作区的洁净度,有缩小了洁净面积。

      (2)省略高架地板,10万级区域作为回风通道。由于FFU风机全压较低,高架地板开孔率要求大于49%,以便降低风阻。这种高架地板通常用铝合金压铸而成,价格较高。该设计省略了高架地板,设备区和操作区之间的隔墙底部架空作回风通道,设备区兼作回风夹层。操作区高达200次1h的换气次数的风量通过设备区,足够达到十万级。同时,省去了设备区的循环风。

      (3)省略回风,新风量根据设备排风确定。根据排风量确定补充新风量,前提条件是新风量必须大于规范要求的新风比例,系统不设回风,洁净室内的热负荷通过干表冷盘管处理。通风管道费用大幅度降低。

       以上措施大幅度了投资成本( 比典型的FFU 系统降低30%)以上)。由于系统简化,运行费用也随之降低。

       该项工程竣工检测结果显示, 十级区、百级区、十万级区洁净度指标均较理想,温湿度控制在24°C±2°C、50%±10 。其中十级区由于从十万级洁净室取风,再次经过冷却干表冷盘管控温度,温度达到了22°C±2°C的高精度。最终该半导体有限公司的产品合格率也在该车间投入使用后达到设计要求。

        在设计施工中,以下几点应注意:FFU品牌的选择,直接影响洁净度和噪音指标;省略高架地板,房间的宽度不能超过4m,否则工作面(一般为0.8m)的层流会受影响。在工艺设备布置时应综合考虑,合理布局;考虑FFU的维修空间,方便安装和维修;

        新风补充应加装高效过滤器,对确保超净车间的洁净度和延长FFU过滤器的使用寿命有好处。


资料来源:广州嘉凡净化科技有限公司 http://www.gdjfc.com
日期:2018-03-23 人气:1677
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