随着电子产品日新月异的不断发展,产品对生产厂房的基础条件越来越高,一般的电子产品在普通的洁净室厂房内可以完成生产、组装。而一些较为精密的电子产品如手机屏幕、背光源、LED封装、光学镜头、镜片生产、研发以及微生物安全技术研究等场所,均需采用超高等级的洁净室车间/实验室。而高等级洁净室的构成相对普通洁净室厂房要相对复杂,高等级洁净室的设计、布局、管道安装、机电安装均有非常严格的讲究。
高等级洁净室的空气循环方式大体上有3种即:
1、集中式
典型部件构成:大型轴流风机、消声器、干表冷盘管、高效过滤器、液槽密封框架。特点:顶棚内正压、静压箱高度大、风机少、监视点少、风机电机效率高、风机需要设置空间、高效过滤器更换时洁净度不保证。运行费用分析:风机效率90%、电机效率85%、单位风量输送电耗0.213w.h/m³。
2、半集中式
典型部件构成:高效过滤送风箱、干表冷盘管、过滤器、铝合金框架、填料密封。特点:顶棚内负压、风管与过滤箱要在顶棚内连接、高效过滤器更换时不影响系统运转运行费用分析:风机效率70%,电机效率75%、单位风量输送电耗0.130w.h/m³。
3、FFU式
典型部件构成:FFU(风机过滤器单元)、干表冷盘管、专用铝合金龙骨系统、填料密封。特点:顶棚内负压、静压箱高度小、风机台数多、监视点多、风机电机效率低、风机需要设置空
间、高效过滤器更换时不影响系统运转。运行费用分析:风机效率33%,电机效率85%,单位风量输送电耗0.165w.h/m³
从上列形式中可以看出,高等级洁净室工程之中,FFU的应用是非常实惠以及普遍的,因其具有较高的性价比。