如何解决洁净室送风量不平衡、压力不平衡等问题？

（1）设计选用过滤器时按额定风量的75％～80％选用。空调箱的送风机或FFU采用变频措施；

（2）当工艺排风发生变化时，调整新风风量；

（3）加强洁净空调系统的运行管理；

（4）洁净室应具备压差测试手段，当出现异常时报警。