如何解决洁净室送风量不平衡、压力不平衡等问题?
(1)设计选用过滤器时按额定风量的75%~80%选用。空调箱的送风机或FFU采用变频措施;
(2)当工艺排风发生变化时,调整新风风量;
(3)加强洁净空调系统的运行管理;
(4)洁净室应具备压差测试手段,当出现异常时报警。