洁净室出现风量不平衡的因素:
(1)初、中、高效过滤器随着使用时间的增加,其阻力也会增加,造成送风量减少,室内正压值降低;
(2)生产工艺发生变化,排风量增加或减少造成洁净室内正压值的增加或减少;
(3)随着洁净室投入使用时间的增加,维护结构和门窗出现漏风现象,造成洁净室内正压值发生变化;
(4)管理不善,人员和设备的出入口、门或气闸室关闭不严,造成洁净室正压发生变化;
(5)送风机皮带松动、送风机转速降低造成送风量不足;
(6)个别FFU的风机或电机发生故障,停业运行造成循环风量不足。
解决风量不平衡的措施
(1)设计选用过滤器时按额定风量的75%~80%选用。空调箱的送风机或FFU采用变频措施;
(2)当工艺排风发生变化时,调整新风风量;
(3)加强洁净空调系统的运行管理;
(4)洁净室应具备压差测试手段,当出现异常时报警。