洁净室出现风量不平衡的因素：

        （1）初、中、高效过滤器随着使用时间的增加，其阻力也会增加，造成送风量减少，室内正压值降低；

        （2）生产工艺发生变化，排风量增加或减少造成洁净室内正压值的增加或减少；

        （3）随着洁净室投入使用时间的增加，维护结构和门窗出现漏风现象，造成洁净室内正压值发生变化；

        （4）管理不善，人员和设备的出入口、门或气闸室关闭不严，造成洁净室正压发生变化；

        （5）送风机皮带松动、送风机转速降低造成送风量不足；

        （6）个别FFU的风机或电机发生故障，停业运行造成循环风量不足。

        解决风量不平衡的措施

       （1）设计选用过滤器时按额定风量的75％～80％选用。空调箱的送风机或FFU采用变频措施；

       （2）当工艺排风发生变化时，调整新风风量；

       （3）加强洁净空调系统的运行管理；

       （4）洁净室应具备压差测试手段，当出现异常时报警。