洁净室的一般清扫必须在生产工艺操作结束后进行，若有必要在生产前清扫，则工艺生 产必须在净化空调系统开机运行时间达到自净要求后方可开始运行。为了防止交叉刘染，清 扫描净厂房设施的工具均应按产品特点、工序要求、空气洁净度等级的不同分别专用。

     洁净室的清扫工具一般采用集中固定式或便携移动式真空清扫设备，以确保在定期清扫 时能去除微粒污染；也能有效地、适时地清除某些不适合在情净室外进行工作所带来的污 染。当设置集中国定式真空清扫系统时，其排风机应安装在洁净室外；洁净室内的连接插座在不使用时应严密封盖，以免危及洁净室内的压差或气流形式。当设置便携式真空清扫设备 时，应配置有排风过滤器，其过撞效率应 至少与所在洁净环境的等级相同；还应注意在使用时对洁净室内气流的影响。

     若洁净室不具备上述清扫条件时，也可采用不掉纤维的材料如丝光毛巾、尼龙布等进行 擦拭，一般每天1次或数次。对于高级别的拮净室，擦拭用水应使用过撞后的水；有特殊要 求的场所，也可采用符合要求的有机溶剂进行擦拭 。当洁净室内产品生产工艺要求不能进行擦拭时，应采用真空清扫设备进行清扫。

     一般对于小面积的洁净室宜采用移动式真空清扫视，而大面积或高级别的洁净室宜采用集中或真空吸尘系统。集中或真空吸尘系统的设置要求如下。

（1）吸尘装置宜布置在靠近负荷的中心，并要考虑隔声隔振措施。

（4） 集尘器要设置在真空泵的吸人端，集尘器可采用布袋除尘器等。

（5） 吸尘系统的管道材料要选用耐磨、气密性好 、有一定强度的材质