一个洁净室工程项目当有多套净化空调系统同时运行和较大型的洁净室厂房的净化空调系统，常驻采用新风集中进行净化处理，再分别供给各套净化空调系统的方式。目前常用的是新风三级过滤，即新风经粗效、中效、亚高效过滤处理。有些地方新风还需经过水喷淋或化学过滤器处理。

      目前在较大型的电子产品生产用洁净厂房中的净化空调系统的新风常采用新风集中处理系统，将吸入的室外风按具体洁净厂房中产品生产工艺的空气洁净度等级和清除污染物的严格要求，设置各类空气过滤器和热、湿处理设备把室外新风处理到符合洁净度要求。下图4-1是某洁净厂房的组合式空调新风机组（MAU），其功能段包括：初效过滤段、中效过滤段、预热段、预冷段、再冷段、再热段风机段、消声器、高效过滤段、加湿段。流程图如下：