(1)洁净室行业ISO系列标准规范由全球国际标准化团体联合 ISO /TK209 洁净室及相关受控环境技术委员会编制的洁净室工程标准系列,标准的内容及编写、实施情况如下表 2-1:
(2)ISO 14644-1空气洁净度等级标准
空气洁净度是洁净环境中空气含悬浮粒子量的多少的程度, 通常空气中含尘浓度高则空气洁净度低,含尘浓度低则空气洁净度高。按空气中悬浮粒子浓度来划分洁净室及相关受控环境中空气洁净度等级, 就是以每 m3空气中的最大允许粒子数来确定其空气洁净度等级。