洁净室等级由低到高排列分别为：三十万级、十万级、万级、千级、百级、十级、一级洁净室等。本文着重介绍百级洁净室的主体框架结构是如何构成的。

      1、百级洁净室系采FFU (Fan Filter Unit) 系统，配合生产线各段功能及洁净度需求装设适当数量之FFU，Class100级区域由高架地板回风、Class1K及Class10K 区域由回风柱回风。天花板之隔间装设冷却盘管，以调节室内送风温度。

      2、百级洁净室隔断、吊顶采用防火等级达到1小时以上的防火彩钢板。

      3、天花板采用重载型T-GRID 系统，T-GRID 框组尺寸为600mm x1200mm，未装设FFU及灯具之空位，须放置盲板。T-GRID 之十字接头，须设计可装设消防撒水头及火警感知器之预留孔及孔帽。

      4、Class 100 区域设高架地板，采用700kg 型之铝板，面贴塑胶地砖之平板及有冲孔之回风板。

      5、洁净室工程之室内相对湿度系受外气空调箱控制，外气引入后，以空气过滤器过滤外气，以冷却盘管除湿或加湿器加湿至设计之室内露点温度，以热水盘管加热调温，并经HEPA Filter 过滤后，再送至洁净室回风层，以补充洁净室之排气及维持正压之空气。