种类		装设量	备注
电	1φ220V或3φ380V或400V	10000KVA
	自来水	28m3/h
	纯水	20m3/h
	废水	40m3/h
	压缩空气	35m3/min
排风	热、一般排风	40000m3/h
空调耗冷量		2200KW
工艺冷却水耗冷量		3800KW	日本设备一般自带工艺冷却水机组

          太阳能电池硅片洁净室的切片工艺动力的质量要求表：

纯 水
电阻率（MΩ·CM、25℃）	15
TOC（ppb）	＜1
细菌（cfu/ml）	＜1
溶解SiO2（ug/L)	＜5
总SiO2（ug/L）	＜10
粒子（个/L,＞0.1um）	＜100
溶解氧（ug/L)	＜30
沉淀物（ppm）	＜1
温度（℃）	＜23
压力（kg/cm2）	≥3.0
使用点过滤器（um）
工艺设备冷却水
供水温度〔℃〕	常规切片机进水温度12℃
电导率（us/cm）	5
PH	6~8
供水压力（MPa）	0.4
氯离子（ppm)	＜10
碳酸钙（ppm)	＜50
溶解氧；悬浮物	＜10mg/L
无油干燥压缩空气
露点	-20
压力（Mpa）	0.8/0.5~0.8
洁净度	＜0.01um,＜0.01ppm

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