洁净室工程静压差验收前提条件和注意事项：

         一、静压差的测定是洁净区内所有的门全关闭状态下进行的。

         二、应从洁净度高到洁净度低的房间顺序进行，一直到直通室外的房间。

         三、测管口设置在室内不受气流干扰的地方。

         四、所测数据应精确到1.0Pa。

        洁净室工程静压差的检测步骤：

        一、是将洁净区内所有的门全处于关闭状态下。

        二、用微压差计测量洁净室之间，洁净室和走廊之间，走廊与外界之间的压差。

        三、记录在案； 

        洁净室工程静压差测定用的仪器： 静压差测定一般采用的仪器为 YJB-150 型补偿式微压计，倾斜式压力计，精密指针式压力计或灵敏度小于 1.0Pa 的其它压力计。

        洁净室工程静压差验收标准：

        一、不同级别的洁净室与非洁净室洁净室之间的静压差应不小于5Pa。

        二、洁净室与室外的静压差应不小于10Pa。

        三，对于洁净度等级大于5 级的单相流洁净室在开门时，门内0.6m 处室内工作面的含尘浓度应不大于相应级别的含尘浓度限值。