洁净室工程术语：

        洁净室工程（区）是指空气悬浮粒子浓度受控的房间。它的建造和使用应减少室内诱入、产生及滞留粒子。室内其它有关参数和温度、湿度、压力等按要求进行控制。

洁净室相关术语如下：

悬浮粒子：用于空气洁净度分级的空气中悬浮粒子尺寸范围在0.1μm～5μm的固体和液体粒子。

       1 粒径：由给定的粒子尺寸测定仪回应当量于被测粒子等效的球体直径。对离散粒子计数、光散射仪器采用当量光学直径。

       2 超微粒子：当量直径0.1μm的粒子。

       3 宏粒子：当量直径0.5μm的粒子。

       4 粒径分布：粒子粒径频率分布和累积分布，是粒径的函数。

       5 含尘浓度：单位体积空气中悬浮粒子的颗数。

洁净度：是指以单位体积空气中某粒子的数量来区分的洁净程度。

       洁净室工程占用状态

      1 空态：设施已经建成，所有动力接通并运行，但无生产设备、材料及人员。

      2 静态：设施已经建成，生产设备已经安装，按业主及供应商商定的状态运行，但无生产人员。

      3 动态：设施以规定的状态运行，有规定的人员在场，并在商定的状态下进行工作。

无尘室工程气流流型：室内空气的流动形态和分布

      1单向流：沿单一方向呈平行流线并且横断面上风速一致的气流。

      2非单向流：不符合单向流定义的气流。

      3混合流：单向流和非单向流组合的气流。

洁净工作区：指洁净室内离地面高度0.8-1.5m（除工艺特殊要求外）的区域。

洁净风淋室：利用洁净气流吹落并清除进入洁净室人员或物料表面附着粒子的小室。

气闸室：设置在洁净室工程出入口，为阻隔室外或相邻房间的污染气流和压差控制而设置的缓冲间

传递窗：在洁净室隔墙上设置的传递物料和工器具的窗口。两侧窗扇的开启应进行联锁控制。

高效空气过滤器：在额定风量下，对粒径大于等于0.3μm粒子的捕集效率在99.9%以上及气流初阻力在250Pa以下的空气过滤器。

风机过滤器机组（FFU）Fan Filter Unit：由高效空气过滤器（HEPA）或超高效空气过滤器（ULPA）与风机组合在一起，构成自身可提供动力的末端空气净化装置。

过滤器安装后检漏：检查空气过滤器及其与安装框架连接部位等没有缺陷和泄漏。

漏风量：风管系统中，在某一静压下通过风管，附件及其接口，单位时间内泄漏或渗入的空气体积量。

漏光检测：采用强光源对风管的咬口、接缝、法兰及其连接处进行透光检查，确定孔洞、缝隙等渗漏部位及数量的方法。

自净时间：洁净室被污染后，净化空调系统开始运行至恢复到稳定的规定室内洁净度等级的时间

纯水：杂质含量很少的水，其电解质杂质含量（常以电阻率表征）和非电解质杂质（如微粒、有机物、细菌和溶解气体等）含量均要求很少的水。

常用气体：指电子产品生产过程中广泛使用的氢气、氧气、氮气、氩气、氦气等气体。

特种气：指电子产品生产过程中使用的硅烷、磷烷、乙硼烷、砷烷、四氯化硅、氯气等气体。这些气体具有可燃、有毒、腐蚀或窒息等特性。

化学品：指电子产品生产过程中使用的酸、碱、有机溶剂、有机物质和氧化物等。

配管：洁净室工程厂房中，用以输送、分配工艺用水、纯水、各类气体、化学品等的管路系统的管子、附件、管件、法兰、螺栓连接件、垫片、阀门和其他组成件的组装总成。

热弯：温度高于金属临界点AC1时的弯管作业。

冷弯：温度低于金属临界点AC1时的弯管作业。

射线照相检数：对指定的一批配管的全部环向对接焊缝所作的全圆周射线检验和对纵焊缝所作的全长度射线检验。

抽样射线照相检验：在一批指定的配管中，对规定的百分比的环向对接焊缝所作的全圆周的射线检验。