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百级无尘室工程洁净方案

       百级无尘室工程佛山无尘室又可以称为复合式无尘室,复合式无尘室的做法常见用于高端、高洁净度等级的无尘室项目,如千级无尘室、百级无尘室、十级无尘室等项目中。复合式无尘室的具体设计方案有以下几种。

   (1)洁净隧道式无尘室(Clean Tunnel):以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上,可节省安装运转费用。
  

        此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离,以避免机器维修时影响了工作及品质,ULSI制程大都采用此种型式。
  

        洁净隧道另有二项优点:A.弹性扩充容易; B.维修设备时可在维修区轻易执行。


   (2)洁净管道式无尘室(Clean Tube):将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理,将洁净度等级提至
100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离,少量之送风即可得到良好之洁净度,可节省能源,不需人工的自动化生产线为最适宜使用。药品、食品业界及半导体业界无尘室均适用。


   (3)拼装局部洁净室(Clean Spot):将洁净室等级10,000~100,000之乱流洁净室内之产品制程区
的洁净度等级提高为10~1000级以上,以为生产之用;洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类


    百级超净工作台:等级Class 10~100级。


    洁净棚:为在乱流式之洁净室空间内以防静电之透明塑料布围成一小空间,采用独立之HEPA
或ULPA及空调送风机组而成为一较高级之洁净空间,其等级为10~1000级,高度在2.5米左右,覆盖面积约10m2以下,四支支柱并加装活动轮,可为弹性运用。


资料来源:广州嘉凡净化科技有限公司 http://www.gdjfc.com
日期:2018-01-09 人气:1498
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