某一级洁净室设计采用MAU+FFU+DC的方案:三层结构,上夹层是送风技术夹层里面布置新风管和FFU。新风和回风在这里混合,中间层是洁净生产车间,下夹层是回风技术夹层,干冷盘管布置在下夹层。另外一些管道电缆等管线也布置在下夹层。
净化空调设备的选用
(1)新风机组任务和选择:
a.新风机组要保证工艺生产房间的相对湿度因此新风机组有加湿和去湿功能;同时也有加热和降温功能,还有高精度的自动控制。新风机组还要保证房间的正压,因此每个工艺房间有独立的新风管,每个新风管上设有电动调节阀和精密的自动控制。
b.采用5级过滤保证进入工艺生产房间新风的品质并且保护FFU中的超高效过滤器(即共有六级过滤,其中有粗效.中效.化学过滤.中效.高效和超高效过滤器, 共6级)。
c.新风机组的风机为双风机一用一备,保证运行的安全可靠。新风机组的功能段有两级表冷,一级加热.一级加湿 两台风机和五级过滤共16个功能段。冷冻水温度1为5-10℃热水温度为50-60℃.加湿用电热式蒸汽加湿器并采用纯水做水源。
•设计选用时与新晃、开利、约克等著名生产厂家的技术人员进行技术座谈..最后选用了新晃生产的产品,实际运行效果很好。
(2)FFU的参数和选择
•一级洁净室的FFU采用 U17超高效过滤器其效率为99.999995%(≥0.12μm)。
•十级洁净室的FFU采用U16超高效过滤器其效率为99.999995%(≥0.12μm)。 FFU是保证房间洁净度的最后关口因此非常重要。
a.FFU单体噪声要求,噪声≤50dB(A);
b.FFU的机外余压>120Pa;
c.FFU的出口断面 风速的均匀度为±20%(15%);
d.FFU的电机寿命>50000小时;
(3)干盘管的运用和控制
•干盘管采用两排,翅片间距≥3mm。面风速为2m/s时阻力大约为30Pa,
•通入干盘管的中温水参数为14℃~19℃,通过干盘管的面风速≤2m/s,此时干盘管的面积很大。有时下夹层布置不下还要斜放。中温水用冷冻水混合制取。
•干盘管的下面作了凝结水的滴水盘和冷凝水的排水系统
•有的车间只能单侧布置干盘管,.或因设备基础(实体)占房间面积很大,会造成单向流气流出现一定的偏斜.因此这样高级别和高温湿度精度的洁净厂房的回风和和干盘管布置尽量均匀,设备基础面积最好不要超过房间面积的1/2。
•干盘管是保证工艺车间的温度精度的关键设备,控制采用各干盘管由分区的温度敏感元件单独控制。但在室内发热量很少的时候,中温水阀门开启得很小控制水量较困难,为达到控制目的,还特意将新风送风温度提高.加大中温水的水量来保证房间温度精度。
(4)自动控制元件选用国际上控制精度最精,价格最贵的瑞典为沙拉公司的产品与专业的自控公司共同施工调试
(5)金属壁板和活动地板
•经过调查和比较设计时选择了台湾惠亚公司提供的金属样板和活动地板。
•外墙内衬的彩钢板和疏散走廊的隔墙采用耐火一小时的玻镁彩钢板。而内间隔墙采用铝蜂窝彩钢板(防火一小时),有时因外因碰撞洼痕影响美观但重量很轻。
•因风量很大活动地板的开孔率为50-60%,且设备基础大。回风面积受到一定影响。