所有洁净室空气净化工程的空气净化处理系统，均有采用初效过滤器、中效过滤器、高效过滤器三级过滤。某些级别较低的洁净室，如100,000或300,000级洁净室，则可采用亚高效过滤器代替高效过滤器。
   
       确定集中式或分散式净化空气调节系统时，应综合考虑生产工艺特点和洁净室空气洁净度等级、面积、位置等因素。凡生产工艺连续、洁净室面积较大、位置集中以及噪声控制和振动控制要求严格的洁净室，宜采用集中式净化空气控制系统。

       净化空气调节系统设计应合理利用回风，凡工艺过程产生大量有害物质且局部处理不能满足卫生要求，或对其他工序有危害时，则不应利用回风。净化空气调节系统除直流式系统和设置值班风机的系统外，应采取防止室外污染空气通过新风口渗入洁净室内的防倒灌措施。

       空气净化工程中空气过滤器的选用、布置和安装方式，应符合下列要求：
一、初效过滤器不应选用浸油式过滤器：
二、中效过滤器宜集中设置在净化空气调节系统的正压段（即内置于组合式空调机组）；
三、高效过滤器或亚高效过滤器宜设置在净化空气调节系统末端；
四、中效、亚高效、高效过滤器宜按额定风量选用；
五、阻力、效率相近的高效空气过滤器宜设置在同一洁净室内；
六、高效过滤器的安装方式应简便可靠，易于检漏和更换；

       送风机可按净化空气调节系统的总送风量和总阻力值进行选择。中效、高效空气过滤器的阻力宜按其初阻力的两倍计算。净化空气调节系统如需电加热时，应选用管状电加热器，位置应布置在高效空气过滤器的上风侧，并应有防火安全措施。