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洁净室的气流组织和送风量控制

      洁净室气流组织可分为两类,层流式洁净室或乱流式洁净室洁净室设计气流方式时,应符合下列要求:

一、洁净工作区的气流速度,应满足空气洁净度和人体健康的要求,并应使洁净工作区气流流向单一;
二、回风口宜均匀布置在洁净室下部;
三、余压阀宜设在洁净室气流的下风侧,不宜设在洁净工作区高度范围内。

      乱流洁净室的送风量,应取下列规定的最大值:

一、为控制室内空气洁净度所需要的送风量;
二、按洁净室额定的送风量;
三、根据热、湿负荷计算和稀释有害气体所需的送风量;
四、按空气平衡所需要的送风量。

      当生产工艺仅要求在洁净室内局部工作区达到更高的空气洁净度时,其气流组织设计应使洁净气流首先流经该工作区,或在洁净室的不同区域形成不同气流流型和空气洁净度等级的洁净工作区。

注:
1.垂直层流洁净室采用相对两侧墙下部均匀布置回风口方式,仅适用于两对侧墙间距不大于5
米。

2.乱流洁净室送风量的确定,宜考虑室内含尘浓度不均匀扩散的因素。

3.层流洁净室内不宜设置超净工作台;乱流洁净室内可设置洁净工作台,但其位置应远离回风口。

4.洁净室内有局部排风装置时,其位置应设在工作区气流的下风侧。


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日期:2018-01-09 人气:1388
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