洁净室必须维持一定的正压。不同等级的洁净室以及洁净区与非洁净区之间的静压差,应不小于0.5毫米水柱,洁净区与室外的静压差,不应小于1.0毫米水柱。
洁净室维持不同的正压值所需的正压风量,宜按下式计算:
Q=a.Σ(q.L)
式中Q——维持洁净室正压值所需的正压风量(平方米/时);
a——根据围护结构气密性确定的安全系数,可取1.1~1.2;
q——当洁净室为某一正压值时,其围护结构单位长度缝隙的渗漏风量(平方米/时.米);
L——围护结构的缝隙长度(米)。
送风、回风和排风系统的启闭应联锁。系统开启时,联锁程序应为先启动送风机,再启动回风机和排风机;系统关闭时,则联锁程序应相反。 非连续运行的洁净室,可根据生产工艺要求设置值班风机,并应对新风进行处理。