无尘室的节能技术方案
无尘室工程的建造成本高，维护成本高，能源消耗成本也高，因为要保持无尘室内高洁净度的生产环境所必需的空气洁净等级、压差、温度、相对湿度要求，防止污染的交叉污染，无尘室内应根据产品的生产过程的要求排出生产过程中产生的粉尘、热量、有机溶剂等所需的全室或局部排风装置，与此同时组合式空调机组需向无尘室内送入相应的或必需的经过过滤的洁净的室外新鲜空气；根据不同的空气洁净度等级的要求需要有必须的换气次数/送风量。据经验人士统计大规模集成电路制造工厂的无尘室厂房的净化空调系统及其制冷机的耗电量约占工厂总耗电量的50%左右。

无尘室厂房的耗能量巨大，各种无尘室的节能手段应运而生，若无尘室精心设计，合理规划，能大大的节约能源、降低能量消耗，节能的潜在容量不小窥。

无尘室、组合式净化空调系统的运行节能问题，我们总结出以下几个解决方案：

1、无尘室内的工艺平面布置规划
尽量采用无尘室内局部高等级无尘室、超净工作台、百级层流罩、洁净棚等方式，降低高级别无尘室面积，是减少能量消耗、节约能源必不可少的措施。据权威报导：与传统大面积无尘室厂房生产环境相比微环境洁净厂房的投资可节省约40%，光无尘室洁净空气输送的费用可节省70%！这是多么惊人的数据；

2、建设无尘室初期准备工作
无尘室厂房基础建设（即土建）的门窗设计的是否恰当，直接影响到能否降低无尘室厂房能耗的重要性，首先是控制好窗墙比例，按无尘室的特点尽量减少外墙上的窗面积；其次是门窗构造的气密性要求和材料选择优质可靠，以确保门窗的保温（冷）效果和减少冷风渗透，防止“冷桥”现象的发生。

3、能有效降低无尘室的冷/暖负荷的措施
1）根据用户产品生产工艺要求，为用户量身打造无尘室内空气洁净等级和温度、相对湿度参数，在满足生产工艺的前提下，从节约能源的角度出发，按不同工序/房间的不同要求确定空气洁净度等级、温度、相对湿度参数，可能就低时尽可能采用较低的取值。

2）准确地设计无尘室需设排风装置的房间的或工序或生产设备的排风量，因为无尘室内排风量的增加，即意味着净化空调系统的补充新风量增加。无尘室厂房设计中有时会出现由于排风量的增加使净化空调系统的新风量大于规定的新鲜空气需用量，从而使设计的热（冷）负荷增加，因此，准确的确定无尘室内排风量是降低能量消耗的重要技术措施之一。

4、减少净化空调系统的送风量和降低系统阻力的技术措施
1）按生产工艺要求的不同空气洁净度等级和不同的工作时间、班次合理划分净化空调系统。但在制订方案时应认真考虑减少管线长度，降低风管阻力所必需采取的技术措施，做到既降低用电量又不能增加较多的建造费用。

2）合理组织净化空调系统中各种空气过滤器的设置，对较大型的无尘室厂房的净化空调系统的新风集中大小控制送风量等。

3）净化空调系统设计应合理利用回风。在产品生产过程不产生有害物或不发生交叉污染时，净化空调系统在保证新鲜空气量和保持无尘室规定的压差值的条件下，为了减少能量消耗，应尽量利用回风。对于换气次数大的单向流无尘室，当空调机房距单向流无尘室较远时，可以采用一部分空气不回机房而直接循环使用，可使能量消耗降低。

5、合理进行净化空调系统的风管设计
风管布置时应尽量缩短风管长度，减少不必要弯管、附件的设置，简化风管形状，努力降低风管系统的阻力，以减少能量消耗。

6、采用变流量控制风量、水量
1）根据检测得到的无尘室内的尘粒数量，或房间压力值控制调节送风量。采用技术措施，有效的控制不工作的生产工序或房间的低送风量。

2）根据生产过程的特点，设置检测、控制房间或设备的排风装置，按需要控制排风量或开停排风机或排风阀。避免房间或设备不生产时仍开启排风机或排风阀，消耗电能和增加不必要的送风量。

3）风机、水泵合理的采用变频机组，根据送风量、供水量的多少，改变风机、水泵的转速，降低电能消耗。

4）净化空调系统的空调机组采用冷水量、热水量或蒸汽量的变频控制。