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洁净室解决方案(一)

随着现代工业产品和现代化科学实验活动要求微型化、精密化、高纯度、高质量和高可靠性。微型化的产品如电子计算机,从当初的要在数间房间内培植数台设备组合发展到现在的笔记本电脑,它所使用的电子元器件从电子管到半导体分离器件到集成电路再到超大规模集成电路,仅集成电路的线宽已从几微米发展到现今的0.1 左右。以集成电路的微型化为例,它对空气中受控粒子粒径0.3~0.5um 甚至更小,可见各类工业产品的微型化正在不断对洁净室洁净技术提出更严格的要求。要生产精密化、高纯度的产品,要产品合格率提高,就必须要求洁净室厂房达到相应的受控生产环境的空气净化工程洁净度等级和具有相应高纯度的与产品直接接触的超纯水、超纯气体、超纯试剂等。

洁净室规划、设计、安装(包括洁净空调设计)是洁净技术的重要组成部分。洁净室厂房内的压力、温/湿度、空气流速/形式以及空气净化工程洁净度等等因素控制的好坏直接影响到生产质量是否达标。

洁净室污染源控制技术
空气净化工程的主要任务是根据各种产品生产工艺、不同工序、各类房间的空气洁净度等级需要,
采取空气过滤技术措施将洁净室内空气中悬浮的粒状或化学分子污染物质降低到允许的浓度下洁净室内的污染源主要来自四个方面:
1、大气中含尘、含菌、净化空调系统中新风带入的尘粒和微生物,一般洁净室专用的组合式空
调机组均含初中效过滤器,新风/回风经过初中效过滤器过滤后,由风机增压段送入洁净室送风管道,直达洁净室送风末端,经过HEPA高效过滤器终极过滤才送入洁净室车间;
2、洁净室作业人员发尘,这是至关重要的一道问题,涉及到洁净室操作人员的管理等多方面;
可以参照《洁净室工作人员规范》,这里就不一一介绍
3、建筑围护结构、设施的产尘,这里包括墙、顶棚、地面和一些裸露管线的产尘;
4、洁净室设备及产品流水线生产过程的产尘。

为保证洁净室内环境所要求的空气净化工程洁净度,要采取多种综合技术措施才能达到要求。这些综合措施包括:应采用产生污染物少的生产工艺及设备,或采取必要的隔离和负压措施防止生产工艺产生的污染物质向周围扩散,采用产尘少、不易滋生微生物似的室内装修材料及工器具;减少人员及物料带入室内的污染物质;维持生产环境相对于室外或空气洁净度等级要求低的邻室有一定的正压,防止室外或邻室的空气携带污染物质通过门窗过其他缝隙、孔洞侵入;加强洁净室的管理,按规定进行清扫、灭菌等。

除采取上述种种技术措施之外,为使生产环境或其他用途的洁净室室内环境控制在所要求的空气洁净度等级,重要的技术措施是需要送入足够量的经过处理的清洁空气,以替换或稀释室内在正常工作时所产生的污染物质污染后的空气。洁净室空气净化工程处理就是根据房间不同的洁净度等级要求,采取不同方式送入经过处理的数量不等的清洁空气,同时排走相应数量的携带有在室内所产生的污染物质玷污的脏空气,靠这样的动态平衡,使室内环境维持在所需的空气洁净度等级。


资料来源:广州嘉凡净化科技有限公司 http://www.gdjfc.com
日期:2019-01-22 人气:2792
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