单向流风速基本稳定,气流方向基本相同,进风口左近的风速与工作面风速差别不大,整个洁净室风速也不大很好,通常可以忽略风速的均匀性。洁净室关于净化空调系统的加湿问题而言,常用的加湿方法有很多种,有淋水、湿膜、高压喷雾超声波等水加湿,这些加湿方法属等焓加湿过程。
而喷蒸汽、喷干蒸汽和电极(电热)加湿是向空调送风中喷蒸汽,其加湿方法属等温加湿过程。无尘室净化工程中各级空气洁净度的空气净化处置,均应采用初效、中效、空气过滤器三级过滤。100000级空气净化处置,可采用亚空气过滤器代空气过滤器。净化工程指控制产品 (如硅芯片等) 所接触大气的洁净度及温湿度,使产品能在一个良好的环境空间中消费、制造。此环境空间的设计施工过程即可称为净化工程。
非单向流各部分的风速微风向是不同的。整个无尘车间风速均匀性差。有必要思索风速的均匀性。有时需求分别丈量各部分的风速。丈量风速时,需求预先判别风向,由于普通风速仪的探头具有方向性,所以丈量风速时需求识别风向。
一种常用的用热球风速计和热球风速计丈量风速的方法。热球风速计的灵敏度普通较高,但稳定性较差。因此,热球风速计丈量的风速应留意药房:检查风速表的外观和工作状态能否正常;在丈量风速前纠正风速表的零点位置;测头在校正零位置时应处于无风状态;风速计探头的迎风面在丈量风速时应垂直于风向;等候显现稳定并重新读取;风速计的探头应留神防止接触其他物体。