洁净厂房是我国的耗能大户之一。据不完好统计,洁净室的能耗是普通写字楼的10~3O倍。我国的8英寸芯片厂,洁净室单位面积能耗比美国同类型工厂高15%(美国耗能1.28kw/m2~2.63kW/m2,而中国耗能1.48kW/m2~1.93kW/m2)。以上海某知名芯片厂为例,其全年耗电量的51%是用于洁净室运转及相关的维护,假设将这51%的能耗合理降低,对企业来说就意味着利润的增长。
因此,洁净室下游相关行业企业越来越注重洁净室的节能问题。这就恳求洁净室工程行业企业,从客户需求动身,从设计理念、建造施工、设备配备及运转等各个方面中止节能设计,只需采取全方位的节能技术,整个洁净室行业才干持续、良性展开。
空气分子污染AMC作为IC工厂最关心的问题于20年前最先由日本人提出,近年来,世界Ic卡技术展开疾速,IC芯片日益微型化,目前曾经有赢径为0.4lilln的世界最小的非接触型无线射频识别芯片。AMC对当前的IC消费其潜在的污染比粒子污染要普遍多,粒子污染控制只需求肯定粒径及个数,但对AMC控制而言,除了受芯片线宽的减少而变化外,并受工艺、工艺设备、工艺材料及传送系统等的影响。
更有甚者用于某一工序的各种工艺材料(化学品、特种气体等)在很多情况下其微量的分子剩余对下一工序常常可能就是污染物。因此,IC消费过程中的某些加工工序及工序问的材料传送和存放环境中,AMC已成为严重影响废品率的重要问题,AMC分子控制技术成为洁净室设计与施工树立的主流趋向。目前,国内的洁净室工程行业企业中曾经开端从事此方向的研讨。